光刻机是什么

1、光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等 。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.
【光刻机是什么】2、一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序 。
3、Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);
4、在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程 。