【氟化氮有毒吗】三氟化氮 ， 化学式ＮＦ3 ， 常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体 ， 是一种强氧化剂 。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体 ， 在离子蚀刻时裂解为活性氟离子 ， 这些氟离子对硅和钨化合物 ， 高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性（对氧化硅和硅） ， 它在蚀刻时 ， 在蚀刻物表面不留任何残留物 ， 是非常良好的清洗剂 ， 同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用 。三氟化氮是低毒性物质 ， 但是它能强烈刺激眼睛、皮肤和呼吸道粘膜 ， 腐蚀组织 。吸入高浓度ＮＦ３可引起头痛、呕吐和腹泻 。长期吸入低浓度ＮＦ３能损伤牙齿和骨骼 ， 使牙齿生黄斑 ， 骨骼成畸形 。与还原剂能发生强烈反应 ， 引起燃烧爆炸 。
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